Kaziev Andrey V., Tumarkin Alexander V., Leonova Kseniya A., Kolodko Dobrynya V., Kharkov Maxim M., Ageychenkov Dmitry G. Discharge parameters and plasma characterization in a dc magnetron with liquid Cu target. Vacuum , 2018 , 156. С. 48-54. ISSN 0042207X
Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2018.07.001
| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: | Тумаркин, Казиев, Леонова, Харков, Колодко, Агейченков |
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/10149 |
 |
Изменить объект |
