Kaziev A.V., Kolodko D.V., Ageychenkov D.G., Tumarkin A.V., Kharkov M.M., Stepanova T.V. Direct ion content measurements in a non-sputtering magnetron discharge. Journal of Instrumentation , 2019 , 14 (09). C09004-C09004. ISSN 1748-0221
Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: https://doi.org/10.1088/1748-0221/14/09/C09004
| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: | Тумаркин, Казиев, Харков, Колодко, Агейченков, Степанова |
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/10148 |
 |
Изменить объект |
