Kolodko D.V., Ageychenkov D.G., Kaziev A.V., Leonova K.A., Kharkov M.M., Tumarkin A.V. Diagnostics of ion fluxes in low-temperature laboratory and industrial plasmas. Journal of Instrumentation , 2019 , 14 (10). P10005-P10005. ISSN 1748-0221
Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: https://doi.org/10.1088/1748-0221/14/10/P10005
Тип объекта: | Статья |
---|---|
Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: | Тумаркин, Казиев, Леонова, Харков, Колодко, Агейченков |
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники |
URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/10147 |
Изменить объект |