Tumarkin A.V., Kaziev A.V., Leonova K.A., Kharkov M.M., Kolodko D.V., Khomyakov A.Yu. Langmuir probe diagnostics of an impulse magnetron discharge with hot Cr target. Journal of Instrumentation , 2019 , 14 (09). C09026-C09026. ISSN 1748-0221
Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: https://doi.org/10.1088/1748-0221/14/09/C09026
Тип объекта: | Статья |
---|---|
Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: | Тумаркин, Казиев, Леонова, Харков, Колодко, Хомяков |
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники |
URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/10146 |
Изменить объект |