Лаборатория «Сегнетоэлектрические материалы и устройства»
Laboratory «Ferroelectric materials and devices»
(лаборатория создана на основании приказа от «08»ноября2022 г. №97 о.д._
в рамках национального проекта «Наука и университеты)
Основные направления работ:
- экспериментальные исследования по формированию структурно-совершенных сегнетоэлектрических пленок различных составов методами вакуумного осаждения на полупроводниковые и диэлектрические подложки;
- разработка технологии изготовления планарных высокоэффективных электронно-перестраиваемых конденсаторных структур на основе сегнетоэлектрических материалов;
- разработка методик создания конденсаторных структур большой емкости на основе high-k диэлектриков.
Лаборатория активно сотрудничает с ведущими российскими ВУЗамии организациями промышленности в области радиоэлектроники: РТУ МИРЭА, МИСиС, ИНМЭ РАН, АО «НПП Пульсар», АО «НПП Салют».
Научная проблема
Разработка планарных электронно-управляемых конденсаторов большой емкости и с высоким пробивным напряжением, позволяющие уменьшить габариты интегральных устройств, в том числе СВЧ диапазона. При этом отпадает необходимость применения внешних навесных компонентов и повышается надежность конечного изделия.
Научная новизна решаемых задач заключается в разработке и изготовлении планарных электронно-перестраиваемых конденсаторных структур большой емкости на основе сегнетоэлектрических пленок различных составов, в частности состава BaxSr1-xTiO3.
Руководитель лаборатории:
Афанасьев Михаил Сергеевич – ведущий научный сотрудник, д.т.н. доцент
тел.: 8(496)565–24–91, 8(496)565–25–20
e-mail: gvc@ms.ire.rssi.ru
Е.А. Вилков – ведущий научный сотрудник, д.ф.-м.н. |
Д.А. Белорусов - научный сотрудник
|
С.А. Овчинников – старший научный сотрудник, к.т.н. |
М.И. Полынцева – техник |
Е.В. Егоров - научный сотрудник |
Л.Н. Савичева - инженер-исследователь
|
И.А. Шушарин - ведущий программист |
А.М. Пупина - старший программист |
В.А. Лузанов - ведущий научный сотрудник, к.ф.-м.н. |
А.М. Глушков - техник-конструктор |
А.А. Сивов - научный сотрудник |
К.Р. Дехтяренко – техник |
В.И. Ткаченко – техник |
О.В. Акимова – техник
|
